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제품분류EXPAND All

Photoresist(ArF)
테이블
Category Grade CD(nm) Thickness(A) SOB Temp.(℃),Time(sec) PEB Temp.(℃),Time(sec)
Photoresist(ArF) ArF 80~140 1700~7500 100~115℃; 50~90sec 105~130℃; 50~80sec
ArF Immersion 60~80 800~1400 100℃; 60sec 90~115℃; 60sec
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